微儀光電（天津）有限公司顯微鏡自動化的多元化高科技企業
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◆性能特點：
實現探針和樣品組合式移動掃描的商業化原子力顯微鏡。
采用三軸獨立閉環壓電平移式掃描臺，實現大范圍高精度掃描。
三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測。
電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現快速自動化檢測。
龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺。
馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品。
高倍輔助光學顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區域。
閉環壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優于99.5%。
◆測量范圍及應用：
測量范圍：二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應用：納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4（15）、CrPS4（16）、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應用案例 Application Case
序號 | 名稱 | 技術參數 |
01 | 平場目鏡 | WF10X/Φ24mm |
02 | 無限遠平場物鏡 | 長工作距離無限遠平場物鏡：5×/NA0.15 WD:15 10×/NA0.25 WD:10.75 20×/NA0.4 WD:10.90 50×/NA0.74 WD:3.00 |
03 | 總放大倍數 | 50X-500X |
04 | 觀察頭 | 三目觀察筒，45°傾斜，瞳距調節50～75mm，兩檔轉換：****觀察；70%觀察，同時30%攝影 |
05 | 轉換器 | 五孔(內向式滾珠內定位) |
06 | 粗微調調焦范圍 | 粗微動同軸調焦,行程12mm，帶鎖緊裝置,微動格值:2μm |
07 | 載物臺 | 三層機械移動載物臺，面積210×180mm，移動范圍50×50mm，游標刻度0.1mm |
08 | 光瞳距離 | 53-75mm |
09 | 濾色片 | 可配置藍、綠、黃、灰濾色片和磨砂玻璃片 |
10 | 照明 | 12V/50W鹵素燈，具有光源鎖緊保護功能 |
11 | 電壓 | 主機安全低壓直流輸入：12V5A，適配器寬電壓輸入：100V～240V |
12 | 偏光裝置 | 拉板式起偏器，檢偏器 |
13 | 儀器重量 | 凈重13kg 毛重16kg |
14 | 儀器尺寸 | 儀器尺寸68.1X27.5X37.5(cm) 包裝尺寸65X51X35(cm) |
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